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| 통합 카다로그(201503) |
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공통자료 DOWNLOAD |
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GLASS-SCALE자료 |
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양면TAPE방식 스케일부착방법(동영상) |
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캐리어사용방법 |
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OPS_SW(Ver3.0.0.16) |
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OPS_SW(Ver3.0.0.20) |
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| 1000 S/W |
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| 1600,1900 S/W |
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| 4000~6000 S/W |
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| PROTURA S/W |
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3세대 (LED 부착형) |
2세대 (Glass 및 Steel tape 사용가능) |
1세대 (glass scale 전용) |
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Analog 출력 |
digital 출력 |
Analog 출력 |
digital 출력 |
Analog 출력 |
digital 출력 |
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고정 분해능 |
가변 분해능 |
고정 분해능 |
가변 분해능 |
고정 분해능 |
가변 분해능 |
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"A"형 |
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MTE (1,2.5,5um) |
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1000 (20um) |
1500 (1um,0.5um) |
2000 (5um~80nm) |
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1000V (진공용) |
1500V (진공용) |
3000 (5um~20nm) |
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3500 (5um~5nm) |
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"B"형 |
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OPS (1,0.5,0.1,0.05um) |
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1900 (20um) |
1600 (1,0.5um) |
4000 (단종예정) |
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1800 (단종예정) |
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5000 |
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mini "B"형 |
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6000 (5um~1.2nm) |
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6000V (진공용) |
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PCB형 |
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1200 |
1500P |
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1200V (진공용) |
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Chip Encoder |
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CE300 |
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구분 |
모델명 |
분해능 |
Set-up용 LED 장착) |
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Tape-Scale |
Glass Scale |
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Linear |
Rotary (1회전당count) |
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R4513 |
R6425 |
R12151 |
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(arc-sec) |
(arc-sec) |
(arc-sec) |
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표준형 |
MTE |
요약 |
* MTE 모델은 극소형 모델로서 분해능이 1um까지 digital 출력만 가능하며, 최저가 제품입니다. |
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|
* (Analog출력이 필요하시면 MII1000모델을 사용하세요.) |
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4 |
5um |
5um |
20,000 |
32,768 |
65,536 |
O |
||
|
(=64.80") |
(≒39.6") |
(≒19.8") |
||||||
|
8 |
2.5um |
2.5um |
40,000 |
65,536 |
131,072 |
|||
|
(=32.40") |
(≒19.8") |
(≒9.9") |
||||||
|
20 |
1um |
1um |
100,000 |
163,840 |
327,680 |
|||
|
(=12.96") |
(≒7.9") |
(≒4.0") |
||||||
|
OPS |
요약 |
* OPS 모델은 소형 모델로서 분해능이 0.05um까지 digital출력 가능한 표준적인 제품입니다. |
||||||
|
* (Analog출력이 필요하시면 MII1900모델을 사용하세요.) |
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20 |
1um |
1um |
100,000 |
163,840 |
327,680 |
O |
||
|
(=12.96") |
(≒7.9") |
(≒4.0") |
||||||
|
40 |
0.5um |
0.5um |
200,000 |
327,680 |
655,360 |
|||
|
(=6.48") |
(≒4.0") |
(≒2.0") |
||||||
|
200 |
0.1um |
0.1um |
1,000,000 |
1,638,400 |
3,276,800 |
|||
|
(=1.296") |
(≒0.8") |
(≒0.4") |
||||||
|
400 |
0.05um |
0.05um |
2,000,000 |
3,276,800 |
6,553,600 |
|||
|
(=0.648") |
(≒0.4") |
(≒0.2") |
||||||
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표준형 |
MII1900 저가) |
요약 |
* OPS 모델과 size가 같은 Analog출력 제품입니다. |
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|
* (Digital출력이 필요하시면 OPS모델을 사용하세요.) |
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20um |
20um |
5,000 |
8,192 |
16,384 |
별도지그 사용 |
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고급형 |
MII6000 |
요약 |
* 분해능의 변환이 가능한 제품으로 연구개발용 사용을 추천합니다. |
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|
* 5um에서 0.0012um까지 Digital출력의 분해능의 변환이 가능합니다. |
||||||||
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|
5um ~ 0.0012um |
81,920,000 |
134,217,728 |
268,435,456 |
콘넥터에 장착 |
|||
|
(≒0.016") |
(≒0.01") |
(≒0.005") |
||||||
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진공용 |
MII6000V |
요약 |
* 10-8 torr진공에서 사용이 가능합니다. |
|||||
|
* 5um에서 0.0012um까지 Digital출력의 분해능의 변환이 가능합니다. |
||||||||
|
|
5um ~ 0.0012um |
81,920,000 |
134,217,728 |
268,435,456 |
콘넥터에 장착 |
|||
|
(≒0.016") |
(≒0.01") |
(≒0.005") |
||||||
* Yaskawa리니어 모터 사용시에는 Analog출력제품인 MII1900으로 사용하셔야 합니다.
* Panasonic 리니어 드라이브의 사용시에는 Digital 출력제품으로 사용 가능합니다.
* OPS모델과 MII1900모델은 치수 및 모든 것이 동일하며 차이점은 set-up용 LED의 유무입니다.
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