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통합 카다로그(201503)

 

공통자료 DOWNLOAD

GLASS-SCALE자료

양면TAPE방식

스케일부착방법(동영상)

캐리어사용방법

OPS_SW(Ver3.0.0.16)

OPS_SW(Ver3.0.0.20)

1000 S/W

1600,1900 S/W

4000~6000 S/W

PROTURA S/W

 

 

3세대

(LED 부착형)

2세대

(Glass 및 Steel tape 사용가능)

1세대

(glass scale 전용)

Analog

출력

digital 출력

Analog

출력

digital 출력

Analog

출력

digital 출력

고정 분해능

가변 분해능

고정 분해능

가변 분해능

고정 분해능

가변 분해능

"A"형

 

MTE

(1,2.5,5um)

 

 

 

 

1000

(20um)

1500

(1um,0.5um)

2000

(5um~80nm)

 

 

 

 

 

 

1000V

(진공용)

1500V

(진공용)

3000

(5um~20nm)

 

 

 

 

 

 

 

 

3500

(5um~5nm)

"B"형

 

OPS

(1,0.5,0.1,0.05um)

 

1900

(20um)

1600

(1,0.5um)

4000

(단종예정)

 

1800

(단종예정)

 

 

 

 

 

 

5000

 

 

 

mini "B"형

 

 

 

 

 

6000

(5um~1.2nm)

 

 

 

         

6000V

(진공용)

     

PCB형

 

 

 

 

 

 

1200

1500P

 

 

 

 

 

 

 

1200V

(진공용)

 

 

Chip Encoder

 

 

 

 

 

 

 

CE300

 

 

구분

모델명

분해능

Set-up용 LED
(Head에

장착)

Tape-Scale

Glass Scale

Linear

Rotary (1회전당count)

R4513

R6425

R12151

(arc-sec)

(arc-sec)

(arc-sec)

표준형
Digital

MTE
(최소형 최저가)

요약

 * MTE 모델은 극소형 모델로서 분해능이 1um까지 digital 출력만 가능하며, 최저가 제품입니다.

 * (Analog출력이 필요하시면 MII1000모델을 사용하세요.)

4

5um

5um

20,000

32,768

65,536

O

(=64.80")

(39.6")

(19.8")

8

2.5um

2.5um

40,000

65,536

131,072

(=32.40")

(19.8")

(9.9")

20

1um

1um

100,000

163,840

327,680

(=12.96")

(7.9")

(4.0")

OPS
(소형 저가)

요약

 * OPS 모델은 소형 모델로서 분해능이 0.05um까지 digital출력 가능한 표준적인 제품입니다.

 * (Analog출력이 필요하시면 MII1900모델을 사용하세요.)

20

1um

1um

100,000

163,840

327,680

O

(=12.96")

(7.9")

(4.0")

40

0.5um

0.5um

200,000

327,680

655,360

(=6.48")

(4.0")

(2.0")

200

0.1um

0.1um

1,000,000

1,638,400

3,276,800

(=1.296")

(0.8")

(0.4")

400

0.05um

0.05um

2,000,000

3,276,800

6,553,600

(=0.648")

(0.4")

(0.2")

표준형
Analog

MII1900
(소형

저가)

요약

 * OPS 모델과 size가 같은 Analog출력 제품입니다.

* (Digital출력이 필요하시면 OPS모델을 사용하세요.)

 

20um

20um

5,000

8,192

16,384

별도지그 사용

고급형
Digital

MII6000
(고급형 고가)

요약

* 분해능의 변환이 가능한 제품으로 연구개발용 사용을 추천합니다.

* 5um에서 0.0012um까지 Digital출력의 분해능의 변환이 가능합니다.

 

5um ~ 0.0012um

81,920,000

134,217,728

268,435,456

콘넥터에 장착

(0.016")

(0.01")

(0.005")

진공용
Digital

MII6000V
(진공용 고급형)

요약

* 10-8 torr진공에서 사용이 가능합니다.

* 5um에서 0.0012um까지 Digital출력의 분해능의 변환이 가능합니다.

 

5um ~ 0.0012um

81,920,000

134,217,728

268,435,456

콘넥터에 장착

(0.016")

(0.01")

(0.005")

 

* Yaskawa리니어 모터 사용시에는 Analog출력제품인 MII1900으로 사용하셔야 합니다.

* Panasonic 리니어 드라이브의 사용시에는 Digital 출력제품으로 사용 가능합니다.

* OPS모델과 MII1900모델은 치수 및 모든 것이 동일하며 차이점은 set-up용 LED의 유무입니다.

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