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 SIOS Laser Application Guide

 

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기구

Soft

Feed-back

Laser Scale

 

(RRI Method)

1.

MI-5000

1축 변위

5m

800

2.

MI-2-5000

2축 변위

5m

800

Feed-back

Laser Scale

 

(PMI Method)

1.

SP-2000

1축 변위

2m

800

2.

SP-2-2000

2축 변위

2m

800

3.

SP-LR

1축 변위

~80m

800

4.

SP-2000-DS

1축(변위+YAW)

2m

800

5.

SP-15000-DS

1축(변위+YAW)

15m

800

6.

SP-2000-TR

1축(변위+YAW+PITCH)

2m

800

7.

SP-15000-TR

1축(변위+YAW+PITCH)

15m

500

8.

SP-2000-DI

1축(Differential )

2m

800

 

9.

SP-2-2000-DI

2축(Differential )

2m

800

 

10.

SP-2000-DIS

1축(Special)

2m

800

Laser 진동분석기

(임의면반사형)

1.

SP-S

1축 고정위치형

 

 

2.

LSV

1축 (Zoom Optic부착형)

~2.5m

 

He-Ne Laser

1.

SL 02

 

 

 

 

2.

SL 03

 

 

 

 

3.

SL 04

 

 

 

 

Special 측정기

1.

LM series

Laser-Interferometric

Gauging Probe

 

2.

PT series

Optical-Interference Testing Rig for Applanation Tonometers

 

 

3.

NMM series

울트라 초정밀 삼차원 측정기

 

4.

LFS

series

Laser Focusing Sensor

 

  RRI => Retro Reflector Interferometer

  PMI => Plane mirror Interferometer

  SIOS사의 Laser System은 기본적으로 Single Path를 이용하므로 환경변화에 덜 민감한 특성을 가집니다.

  SIOS사의 Laser System은 모든 제품이 Feed-back과 측정을 동시에 수행할 수 있도록 설계되어 있습니다.

 

Feed-back용 Laser System Guide

 

1. SP-SP

 

2. SP-DS

 

3. SP-TR

One-Beam

Plane-Mirror Type

 

공작 기계 길이 측정 시스템

Double-Beam

Plane-Mirror Type

 

초정밀 동시 길이 및 각도 측정

Triple-Beam

Plane- Mirror Type

 

 변위, Pitch, Yaw의 동시 측정

 

 

4. SP-DI

 

5. SP-DIS

 

6. Optional Lens

Differential

Plane-Mirror Type

 

기준점간섭계간의 데드패스를 보상하기 위한 측정점간의 보상측정
시간 측정시

Differential

Plane-Mirror Type

 

측정 및 경면 교정
평행도 측정

For SP, SP-DS

and SP-TR

 

거친 표면 축 방향 변위 측정
측정면 허용경사각 30 '
미소물체 측정 (스폿 직경 10 μm)
곡선 측정 표면에 적합

 

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