3세대
(LED 부착형)
2세대
(Glass 및 Steel tape 사용가능)
1세대
(glass scale 전용)
Analog
출력
digital 출력
Analog
출력
digital 출력
Analog
출력
digital 출력
고정 분해능
가변 분해능
고정 분해능

 가변 분해능

고정 분해능
가변 분해능

 

"A"형

 

MTE(1,2.5,5um)
 

 

 
 
1000(20um)
1500(1um,0.5um)
2000(5um~80nm)
 
 
 
 
 
 
1000V(진공용)
1500V(진공용)
3000(5um~20nm)
 
 
 
 
 
 
 
 
3500(5um~5nm)
"B"형
 
OPS(1,0.5,0.1,0.05um)
 
1900(20um)
1600(1,0.5um)
4000(단종예정)
 
1800(단종예정)
 
 
 
 
 
 

 5000

 
 
 
mini "B"형
 
 
 
 
 
6000(5um~1.2nm)
 
 
 
 
 
 
 
 
6000V(진공용)
 
 
 
PCB형
 
 

 

 
 
 
1200
1500P
 
 
 
 
 
 
 
1200V(진공용)
 
 
Chip Encoder

 

 
 
 
 
 
 
CE300

 

 
모델명
분해능
Set-up용 LED
(Head에
장착)
Tape-Scale
Glass Scale
Linear
Rotary (1회전당count)
     
R4513(arc-sec)
R6425(arc-sec)
R12151(arc-sec)
 
표준형
Digital
MTE
(최소형 최저가)
요약
 * MTE 모델은 극소형 모델로서 분해능이 1um까지 digital 출력만 가능하며, 최저가 제품입니다.
 * (Analog출력이 필요하시면 MII1000모델을 사용하세요.)
 
4
5um
5um
20,000(=64.80")
32,768(≒39.6")
65,536(≒19.8")
O
   
8
2.5um
2.5um
40,000(=32.40")
65,536(≒19.8")
131,072(≒9.9")
 
   
20
1um
1um
100,000(=12.96")
163,840(≒7.9")
327,680(≒4.0")
 
 
OPS
(소형 저가)
요약
 * OPS 모델은 소형 모델로서 분해능이 0.05um까지 digital출력 가능한 표준적인 제품입니다.
     
 * (Analog출력이 필요하시면 MII1900모델을 사용하세요.)
   
20
1um
1um
100,000(=12.96")
163,840(≒7.9")
327,680(≒4.0")
O
   
40
0.5um
0.5um
200,000(=6.48")
327,680(≒4.0")
655,360(≒2.0")
 
   
200
0.1um
0.1um
1,000,000(=1.296")
1,638,400(≒0.8")
3,276,800(≒0.4")
 
   
400
0.05um
0.05um
2,000,000(=0.648")
3,276,800(≒0.4")
6,553,600(≒0.2")
 
표준형
Analog
MII1900
(소형저가)
요약
 * OPS 모델과 size가 같은 Analog출력 제품입니다.
* (Digital출력이 필요하시면 OPS모델을 사용하세요.)
 
20um
20um
5,000
8,192
16,384
별도지그 사용
고급형
Digital
MII6000
(고급형 고가)
요약
* 분해능의 변환이 가능한 제품으로 연구개발용 사용을 추천합니다.
* 5um에서 0.0012um까지 Digital출력의 분해능의 변환이 가능합니다.
   
 
5um ~ 0.0012um
81,920,000(≒0.016")
134,217,728(≒0.01")
268,435,456(≒0.005")
콘넥터에 장착
진공용
Digital
MII6000V
(진공용 고급형)
요약
* 10-8 torr진공에서 사용이 가능합니다.
* 5um에서 0.0012um까지 Digital출력의 분해능의 변환이 가능합니다.