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3세대
(LED 부착형)
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2세대
(Glass 및 Steel tape 사용가능)
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1세대
(glass scale 전용)
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Analog
출력
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digital 출력
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Analog
출력
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digital 출력
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Analog
출력
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digital 출력
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고정 분해능
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가변 분해능
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고정 분해능
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가변 분해능 |
고정 분해능
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가변 분해능
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"A"형
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MTE(1,2.5,5um)
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1000(20um)
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1500(1um,0.5um)
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2000(5um~80nm)
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1000V(진공용)
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1500V(진공용)
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3000(5um~20nm)
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3500(5um~5nm)
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"B"형
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OPS(1,0.5,0.1,0.05um)
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1900(20um)
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1600(1,0.5um)
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4000(단종예정)
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1800(단종예정)
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5000 |
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mini "B"형
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6000(5um~1.2nm)
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6000V(진공용)
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PCB형
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1200
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1500P
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1200V(진공용)
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Chip Encoder
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CE300
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분
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모델명
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분해능
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Set-up용 LED
(Head에 장착)
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Tape-Scale
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Glass Scale
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Linear
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Rotary (1회전당count)
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R4513(arc-sec)
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R6425(arc-sec)
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R12151(arc-sec)
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표준형
Digital |
MTE(최소형 최저가)
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요약
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* MTE 모델은 극소형 모델로서 분해능이 1um까지 digital 출력만 가능하며, 최저가 제품입니다.
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* (Analog출력이 필요하시면 MII1000모델을 사용하세요.)
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4
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5um
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5um
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20,000(=64.80")
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32,768(≒39.6")
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65,536(≒19.8")
|
O
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8
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2.5um
|
2.5um
|
40,000(=32.40")
|
65,536(≒19.8")
|
131,072(≒9.9")
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|||
|
20
|
1um
|
1um
|
100,000(=12.96")
|
163,840(≒7.9")
|
327,680(≒4.0")
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OPS (소형 저가)
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요약
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* OPS 모델은 소형 모델로서 분해능이 0.05um까지 digital출력 가능한 표준적인 제품입니다.
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* (Analog출력이 필요하시면 MII1900모델을 사용하세요.)
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20
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1um
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1um
|
100,000(=12.96")
|
163,840(≒7.9")
|
327,680(≒4.0")
|
O
|
||
|
40
|
0.5um
|
0.5um
|
200,000(=6.48")
|
327,680(≒4.0")
|
655,360(≒2.0")
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|||
|
200
|
0.1um
|
0.1um
|
1,000,000(=1.296")
|
1,638,400(≒0.8")
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3,276,800(≒0.4")
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|||
|
400
|
0.05um
|
0.05um
|
2,000,000(=0.648")
|
3,276,800(≒0.4")
|
6,553,600(≒0.2")
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표준형
Analog |
MII1900
(소형저가) |
요약 |
* OPS 모델과 size가 같은 Analog출력 제품입니다.
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* (Digital출력이 필요하시면 OPS모델을 사용하세요.)
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20um
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20um
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5,000
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8,192
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16,384
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별도지그 사용
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고급형
Digital |
MII6000
(고급형 고가) |
요약
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* 분해능의 변환이 가능한 제품으로 연구개발용 사용을 추천합니다.
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* 5um에서 0.0012um까지 Digital출력의 분해능의 변환이 가능합니다.
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5um ~ 0.0012um
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81,920,000(≒0.016")
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134,217,728(≒0.01")
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268,435,456(≒0.005")
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콘넥터에 장착
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진공용
Digital |
MII6000V
(진공용 고급형) |
요약
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* 10-8 torr진공에서 사용이 가능합니다.
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* 5um에서 0.0012um까지 Digital출력의 분해능의 변환이 가능합니다.
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