Master Glass
Size
| 반도체 Wafer용 마스터글라스 | 0.5세대용 마스터글라스 | 2세대용 마스터글라스 | 3세대용 마스터글라스 | |||
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| - 크기: 350 x 350mm (± 0.8mm) - 두께: 3mm (± 0.1mm) - 평탄도: 10um (± 3µm) - dot 간격: 10mm - dot 영역: 320 x 320 - Accuracy: = 0.8 + (L in MM * 0.005)µm ≈ 2.4 × 2.4µm |
- 크기: 180 × 180mm (± 0.8mm) - 두께: 3mm (± 0.1mm) - 평탄도: 10µm (± 3µm) - dot 간격: 25mm - dot 영역: 150 × 150 - Accuracy: = 0.8 + (L in MM * 0.005)µm ≈ 1.55 × 1.55µm |
- 크기: 355 × 431mm (± 0.8mm) - 두께: 3mm (± 0.1mm) - 평탄도: 40µm (± 3µm) - dot 간격: 25mm - dot 영역: 325 × 400 - Accuracy: = 0.8 + (L in MM * 0.005)µm ≈ 2.4 × 2.8µm |
- 크기: 508 × 609mm(± 0.8mm) - 두께: 4.8mm (± 0.1mm) - 평탄도: 40µm (± 3µm) - dot 간격: 25mm - dot 영역: 475 × 575 - Accuracy: = 0.8 + (L in MM * 0.005)µm ≈ 3.2 × 3.7µm |
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| 3.5세대용 마스터글라스 | 4세대용 마스터글라스 | |||||
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| - 크기: 609 × 711mm (± 0.8mm) - 두께: 4.8mm (± 0.1mm) - 평탄도: 40µm (± 3µm) - dot 간격: 25mm - dot 영역: 575 × 675 - Accuracy: = 0.8 + (L in MM * 0.005)µm ≈ 3.7 × 4.2µm |
- 크기: 609 × 812mm (± 0.8mm) - 두께: 4.8mm (± 0.1mm) - 평탄도: 40µm (± 3µm) - dot 간격: 25mm - dot 영역: 575 × 775 - Accuracy: = 0.8 + (L in MM * 0.005)µm ≈ 3.7 × 4.7µm |
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모든 제품은 검사 성적서가 제공되며 각 점의 위치에러값은 엑셀 데이터로 제공됩니다.